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半導體設備未來走勢預測,等離子清洗機未來走勢如何?

返回列表 來源:半導體行業(yè)觀察 瀏覽:3226 發(fā)布日期:2022-07-25 09:44【
文章導讀:SEMI預測,2022年半導體設備需求將出現(xiàn)顯著增長,并在2023年之前滿足對新應用的需求和現(xiàn)有產品(如汽車)的短缺。我們還研究了一些使用EUV制造更小的特征半導體的發(fā)展。等離子清洗機的發(fā)展會走向何方?等離子清洗機行業(yè)的未來的趨勢如何?
領先的國際半導體貿易組織SEMI于7月在舊金山舉行了Semicon會議。SEMI預測,2022年半導體設備需求將出現(xiàn)顯著增長,并在2023年之前滿足對新應用的需求和現(xiàn)有產品(如汽車)的短缺。我們還研究了一些使用EUV制造更小的特征半導體的發(fā)展。等離子清洗機設備的發(fā)展會走向何方?等離子清洗機行業(yè)的未來的趨勢如何?
SEMI在Semicon期間發(fā)布了一份關于半導體設備支出狀況和2023年預測的年中總半導體設備預測新聞稿。SEMI表示,原始設備制造商的全球半導體制造設備總銷售額預計將達到創(chuàng)紀錄的117.5美元2022年10億美元,較之前的2021年行業(yè)高點1025億美元增長14.7%,并在2023年增至1208億美元。下圖顯示了半導體設備銷售的近期歷史和到2023年的預測。
半導體
晶圓廠設備支出預計將在2022年增長15.4%至2022年1010億美元的新行業(yè)記錄,預計2023年將進一步增長3.2%至1043億美元。下圖顯示了SEMI對半導體應用設備支出的估計和預測。
半導體
SEMI表示:“在對領先和成熟工藝節(jié)點的需求的推動下,晶圓代工和邏輯領域預計將在2022年同比增長20.6%至552億美元,并在2023年再增長7.9%至595億美元.這兩個部分占晶圓廠設備總銷售額的一半以上。”
該新聞稿接著說,“對內存和存儲的強勁需求繼續(xù)推動今年的DRAM和NAND設備支出。DRAM設備部門在2022年引領擴張,預計增長8%至171億美元。今年NAND設備市場預計將增長6.8%至211億美元。預計2023年DRAM和NAND設備支出將分別下滑7.7%和2.4%。”
中國臺灣、中國大陸和韓國是2022年最大的設備買家,預計中國臺灣將成為主要買家,其次是中國大陸和韓國。
自從引入集成電路以來,制造更小的特征一直是更高密度半導體器件的持續(xù)推動力。2022Semicon的會議探討了光刻縮小和其他方法(例如與3D結構和小芯片的異構集成)將如何使設備密度和功能不斷增加。
在Semicon期間,LamResearch宣布與領先的化學品供應商Entegris和Gelest(三菱化學集團旗下公司)合作,為Lam用于極紫外(EUV)光刻的干式光刻膠技術制造前體化學品。EUV,尤其是下一代高數(shù)值孔徑(NA)EUV,是推動半導體微縮的關鍵技術,可在未來幾年實現(xiàn)小于1nm的特征。
Lam的副總裁DavidFried在一次演講中表明,干式(由小金屬有機單元組成)與濕式光刻膠相比,可以提供更高的分辨率、更寬的工藝窗口和更高的純度。對于相同的輻射劑量,干式光刻膠顯示出較少的線路塌陷,因此產生的缺陷較少。此外,使用干式光刻膠可將浪費和成本降低5-10倍,并將每個晶圓通過所需的功率降低2倍。
來自ASML的MichaelLercel表示,高數(shù)值孔徑(0.33NA)現(xiàn)在正在生產用于邏輯和DRAM,如下所示。轉向EUV減少了額外的工藝時間和多重圖案化的浪費,以實現(xiàn)更精細的特征。
半導體
該圖顯示了ASML的EUV產品路線圖,并展示了下一代EUV光刻設備的尺寸。
半導體
SEMI預測2022年和2023年半導體設備需求強勁,以滿足需求并減少關鍵組件的短缺。LAM、ASML的EUV開發(fā)將推動半導體特征尺寸低于3nm。小芯片、3D芯片堆棧和向異構集成的轉變將有助于推動更密集、功能更強大的半導體器件。
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