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真空等離子清洗機和微波等離子清洗機的區(qū)別是什么?

返回列表 來源:普樂斯 瀏覽: 發(fā)布日期:2025-03-12 10:23【
文章導(dǎo)讀:利用微波發(fā)生器產(chǎn)生 2.45GHz 左右的微波,通過波導(dǎo)傳輸?shù)椒磻?yīng)腔,在腔內(nèi)形成高頻電磁場,使通入的氣體電離產(chǎn)生等離子體,利用等離子體中的活性粒子與物體表面發(fā)生物理和化學(xué)反應(yīng)來進行處理。
       真空等離子清洗機和微波等離子清洗機有以下區(qū)別:
工作原理

       真空等離子清洗機:利用在真空環(huán)境下,通過在密封容器的兩個電極形成電磁場,使稀薄氣體在電磁場作用下,分子間距及自由運動距離變長,發(fā)生碰撞形成等離子體,等離子體在電磁場內(nèi)運動并轟擊被處理物體表面,實現(xiàn)清洗、刻蝕等效果。
微波等離子清洗機
       微波等離子清洗機:利用微波發(fā)生器產(chǎn)生 2.45GHz 左右的微波,通過波導(dǎo)傳輸?shù)椒磻?yīng)腔,在腔內(nèi)形成高頻電磁場,使通入的氣體電離產(chǎn)生等離子體,利用等離子體中的活性粒子與物體表面發(fā)生物理和化學(xué)反應(yīng)來進行處理。
結(jié)構(gòu)特點

       真空等離子清洗機:一般由真空發(fā)生系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、等離子發(fā)生器、真空腔體、機械部分等組成。
       微波等離子清洗機:主要包括微波發(fā)生系統(tǒng)、傳輸系統(tǒng)、等離子體反應(yīng)腔、氣體供應(yīng)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等。
等離子體特性

       真空等離子清洗機:等離子體密度相對微波等離子清洗機較低,其離子能量和密度與激發(fā)頻率有關(guān),常見的中頻(40kHz)等離子體密度較小。
       微波等離子清洗機:能產(chǎn)生高密度的等離子體,離子濃度高,電子密度可達 10-100×10^{10} cm^{-1},氣體電離度在 20%-50%。
微波等離子清洗機
處理效果與應(yīng)用
       真空等離子清洗機:適用于面積較大、形狀復(fù)雜的材料清洗,可有效去除真空環(huán)境中的有機污染物,達到分子級清洗效果,廣泛應(yīng)用于表面去油及清洗、等離子刻蝕、塑料等的表面活化和清洗等。
       微波等離子清洗機:更擅長處理精細的電子元件、半導(dǎo)體封裝器件等,在半導(dǎo)體行業(yè)用于晶圓表面光刻膠去除、芯片表面清洗等,在醫(yī)療器材制造行業(yè)可提高植入式醫(yī)療器械生物相容性等。
成本與維護

       真空等離子清洗機:整體成本相對微波等離子清洗機可能較低,設(shè)備結(jié)構(gòu)相對簡單,維護成本也相對較低,維護主要集中在真空系統(tǒng)、電極等部件的檢查和更換。
晶圓
       微波等離子清洗機:由于微波技術(shù)的復(fù)雜性和對微波部件的高精度要求,設(shè)備成本較高,對維護人員的技術(shù)水平要求較高,維護時需要專業(yè)知識和工具來檢查微波發(fā)生系統(tǒng)、波導(dǎo)等部件。
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    ‌廣泛適用‌:適用于多種材料表面,包括金屬、陶瓷、玻璃、塑料等,不會對材料性能產(chǎn)生負面影響。

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