真空等離子清洗機的真空泵有哪些組合？
文章導讀：真空泵組是將2臺或2臺以上的真空泵組合在一起，形成一個串聯的結構，能夠大大加快抽真空的速度。在真空等離子清洗機上用到的真空泵組一般有哪些？普樂斯小伙伴今天給大家介紹一下常用的三大類型。
真空泵組是將2臺或2臺以上的真空泵組合在一起，形成一個串聯的結構，能夠大大加快抽真空的速度。在真空等離子清洗機上用到的真空泵組一般有哪些？普樂斯小伙伴今天給大家介紹一下常用的三大類型。
油式泵組是指旋片式真空泵+羅茨泵旋片式組成的泵組，這類泵組一般運用于對潔凈度要求不是很高且腔體較大的真空等離子清洗機上。其優(yōu)點有很多：比如能夠大幅度加大抽速，減少抽真空的時間；結構較為簡單，維護方便；性價比較高，具有價格優(yōu)勢。這種泵組是真空等離子清洗機中最常見的一種泵組，它是由旋片式真空泵作為底泵，外加羅茨泵作為次級泵組合而成的泵組。
2 干式泵組
干式泵組由干式螺桿真空泵+羅茨泵組合成，這種泵組是將干式螺桿真空泵作為底泵，羅茨泵作為次級泵組合成的泵組。一般運用于生物醫(yī)療領域、半導體領域以及航天航空領域等潔凈度要求較高的行業(yè)。因為都是由干式真空泵組合而成的，所以不會出現油污染，潔凈度相較于油式泵組更高一些。
3 特殊泵組
機械泵+分子泵就組成了一款特殊的泵組-分子泵組。使用分子泵組能夠形成清潔的超高真空環(huán)境，所以分子泵組一般是運用在鍍膜機、刻蝕機等對真空環(huán)境要求高的設備上。分子泵組啟動快，抽速非?？?；分子泵組是不會使用油的，不會產生油污染；維護起來相對簡單。
真空等離子清洗機的真空泵有哪些組合？常見的泵組有三種，一種是旋片式真空泵加上羅茨泵；另一種是干式真空泵+羅茨泵；最后一種是機械泵加上分子泵。
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