普樂斯從實踐中得出半導體行業(yè)銅支架經(jīng)過等離子清洗機處理后變色的原因
文章導讀：在昨天的文章中，普樂斯向大家介紹了半導體銅支架經(jīng)過等離子清洗機處理后會出現(xiàn)變色和變黑的兩個因素，其實普樂斯在實踐中還得出了另外一個因素-等離子清洗機電場的分布對銅支架清洗效果和變色的影響。
在昨天的文章中，普樂斯向大家介紹了半導體銅支架經(jīng)過等離子清洗機處理后會出現(xiàn)變色和變黑的兩個因素，其實普樂斯在實踐中還得出了另外一個因素-等離子清洗機電場的分布對銅支架清洗效果和變色的影響。
等離子清洗機的等離子電場分布關(guān)聯(lián)因素包括電極結(jié)構(gòu)、氣體流向和銅支架的擺放位置等相關(guān)。不同處理材料、工藝需要以及產(chǎn)能要求，對電極結(jié)構(gòu)的設計是不一樣的；因此氣體流向會形成一個氣場，對等離子體的運動、反應、均勻性都會有影響；銅支架的擺放位置，會影響到電場和氣場特性，導致能量分配不均衡，局部等離子密度過大而燒板。
除了昨天與今天提到的幾個因素外，實踐證明了等離子清洗機的處理時間、電源頻率、包括載具類型等都會對銅支架的處理效果和變色也是有影響的。
如此看來，等離子清洗機處理半導體銅支架引起變色的原因其實沒有這么簡單，必須要去做深入的研究和長期的實踐，平衡各種因素可能會造成的后果，有針對性的去解決這些問題。
更多詳細內(nèi)容普樂斯陸續(xù)會在之后文章中再與大家進行交流。
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