真空等離子清洗機的腔體大小和進氣方式對均勻性有何影響?
文章導(dǎo)讀:?影響真空等離子清洗機均勻性的因素很多,包括腔體大小、進氣方式、電極結(jié)構(gòu)、電源頻率、氣體流量、功率大小等等,今天普樂斯的小伙伴來談?wù)勄惑w大小和進氣方式對均勻性的影響,僅供參考:
1、真空等離子清洗機腔體的容積越大,均勻性越難掌控,尤其對電源的選擇要慎重。普樂斯可根據(jù)客戶產(chǎn)品規(guī)格和產(chǎn)量進行定制等離子清洗機,自10L以上都可進行個性化的設(shè)計。但如等離子發(fā)生器只選用13.56MHz的RF電源,那么建議盡量控制在600L以內(nèi),腔體越大所需的RF電源功率就越大;尤其是使用3000W及以上功率,則建議使用美國AE、MKS或其他進口的RF電源,成本相對較高,但穩(wěn)定可靠。如處理的產(chǎn)品對均勻性要求高,建議使用40KHz的中頻電源或?qū)⒄婵涨惑w控制在100L以內(nèi)。
2、普樂斯等離子清洗設(shè)備使用前進氣后排氣的方式,經(jīng)過測試這種均勻性相對較好。腔體內(nèi)的進氣管通常用鋁管,將鋁管彎折并焊接成類似方形結(jié)構(gòu)并在鋁管上開孔,開孔位置在兩層電極板的中間,保證每層處理空間都有獨立的進氣品。如下圖所示:
大腔體設(shè)備的進氣結(jié)構(gòu)會有所變化,具體結(jié)構(gòu)還要看腔體大小,下圖為其中一種結(jié)構(gòu):
以上關(guān)于腔體大小和進氣方式對等離子均勻性的影響描述對您有什么啟發(fā)?您有什么異議或更好的想法,歡迎大家留言與我們交流和分享。
親,如果您對等離子清洗機感興趣或者想了解更多詳細信息,歡迎點擊普樂斯的在線客服進行咨詢,或者直接撥打全國統(tǒng)一服務(wù)熱線400-816-9009,普樂斯恭候您的來電!
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大腔體設(shè)備的進氣結(jié)構(gòu)會有所變化,具體結(jié)構(gòu)還要看腔體大小,下圖為其中一種結(jié)構(gòu):

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【本文標簽】:等離子清洗設(shè)備真空等離子清洗機均勻性
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