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普樂斯15年專注等離子清洗機研制低溫等離子表面處理系統(tǒng)方案解決商

業(yè)務(wù)咨詢熱線:400-816-9009免費等離子清洗機處理樣品

熱門關(guān)鍵字:應(yīng)用方案 大氣等離子清洗機 真空等離子清洗機 等離子清洗機廠家

半導(dǎo)體硅

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產(chǎn)品特點

樣品介紹:此樣品是應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域,樣品中間有一層晶圓。
 
 
工藝難點:晶圓表面太過光滑不能滿足下段工序的要求,由于晶圓面積太小,用其他方法對表面粗化比較困難。
 
等離子處理目的:用普樂斯真空等離子設(shè)備對樣品表面進行處理,利用特殊氣體電離產(chǎn)生的等離子與晶圓表面進行反應(yīng),同時利用等離子的物理反應(yīng),以達到晶圓表面的粗化。處理前后在顯微鏡下面可以明顯的觀察到粗化的效果。

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產(chǎn)品參數(shù)

注:以上參數(shù)僅供參考,本公司可能對相關(guān)產(chǎn)品參數(shù)進行調(diào)整,如有變動,恕不再另行通知。若有不明處,歡迎來電詢問。
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工作原理

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應(yīng)用領(lǐng)域

快速反應(yīng),專業(yè)配合,精心打造服務(wù)生態(tài)鏈
1年質(zhì)保,終身維護,提供配套服務(wù)
承諾到達現(xiàn)場的時限:昆山4小時,蘇州8小時,江浙滬24小時,其他區(qū)域48小時
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榮譽資質(zhì)

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