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半導(dǎo)體封裝所用等離子清洗設(shè)備是由這些組成

返回列表 來源：普樂斯 瀏覽：次 發(fā)布日期：2020-01-03 09:27【大 中 小】
文章導(dǎo)讀：在昨天的文章中，普樂斯向大家介紹了等離子清洗設(shè)備在半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域內(nèi)的基礎(chǔ)技術(shù)原理，通過了解，您是否也覺得等離子處理系統(tǒng)在半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域內(nèi)是不可或缺的呢？那么一臺完整的等離子清洗設(shè)備或者說等離子清洗機，是什么樣的？又由哪些部分組成的呢？
行業(yè)內(nèi)通常按等離子體發(fā)生機制，將等離子處理系統(tǒng)分為常壓大氣等離子清洗設(shè)備和低壓真空等離子清洗設(shè)備兩種，而半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域內(nèi)所用的等離子處理設(shè)備則屬于后一種。那么一臺完整的等離子清洗設(shè)備或者說等離子清洗機，是什么樣的？又由哪些部分組成的呢？其實，半導(dǎo)體封裝所用等離子清洗設(shè)備主要是由真空腔體、等離子發(fā)生器、真空泵、真空計、流量計、反應(yīng)氣體和電氣控制、各配件這幾部分構(gòu)成。其中包含了等離子發(fā)生系統(tǒng)、排氣系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)等八個主要控制系統(tǒng)。
半導(dǎo)體封裝真空等離子清洗設(shè)備-普樂斯等離子清洗機
1、真空腔體
真空等離子清洗設(shè)備的真空腔體，即像進(jìn)行整個反應(yīng)過程的“容器”，可放置不同電極結(jié)構(gòu)的放電電極，產(chǎn)生不同狀態(tài)、特性和密度的等離子體。
 
2、等離子發(fā)生器
等離子發(fā)生器主要由電源和匹配器組成，用于提供反應(yīng)氣體放電的能量來源，維持等離子清洗機的放電狀態(tài)，其發(fā)生頻率有區(qū)分。
 
3、真空泵
真空泵主要用于抽取真空和保證腔體維持一定的真空度，并且能夠?qū)⑽措婋x的氣體和反應(yīng)副產(chǎn)物抽出。根據(jù)實際處理的需要，可搭配單級泵或泵組。
真空等離子清洗設(shè)備真空泵部分-普樂斯等離子清洗機
4、真空計
真空等離子處理系統(tǒng)的真空計主要用于監(jiān)測真空腔體的真空度。
 
5、流量計
等離子處理設(shè)備的流量計主要用于測量反應(yīng)氣體的流量。
 
6、反應(yīng)氣體
不同的反應(yīng)氣體電離之后會產(chǎn)生不同特性的等離子體，常用的工藝氣體有Ar、H2、N2、O2、CF4等，根據(jù)處理需要可使用單一氣體或者兩種以上混合氣體。
 
7、電氣控制
真空等離子處理設(shè)備的電氣控制主要包含軟件，為保證設(shè)備正常運行、監(jiān)測、數(shù)據(jù)采集和工藝參數(shù)設(shè)定等。

普樂斯電子9年專注研制等離子清洗機，等離子清洗設(shè)備，等離子處理機，等離子表面處理設(shè)備，已通過ISO9001質(zhì)量體系和歐盟CE認(rèn)證，為電子、半導(dǎo)體、汽車、yi療等領(lǐng)域的客戶提供清洗，活化，刻蝕，涂覆的等離子表面處理解決方案，是行業(yè)內(nèi)值得信賴的等離子清洗設(shè)備廠家。如果您想要了解更多關(guān)于產(chǎn)品的詳細(xì)內(nèi)容或在設(shè)備使用中有疑問，歡迎點擊普樂斯的在線客服進(jìn)行咨詢，或者直接撥打全國統(tǒng)一服務(wù)熱線400-816-9009，普樂斯恭候您的來電！ 

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